应材推新系统 精进OLED显示器制程

提要： 应用材料今日推出两套全新系统：Applied AKT-20K TFE PECVD和Applied AKT-40K TFE PECVD，这两套新系统为行动装置与电视进行高量产，制造出高解析、薄型且轻量的柔性有机发光二极体 (OLED) 显示器。

    应用材料今日推出两套全新系统：Applied AKT-20K TFE PECVD和Applied AKT-40K TFE PECVD，这两套新系统为行动装置与电视进行高量产，制造出高解析、薄型且轻量的柔性有机发光二极体 (OLED) 显示器。

    据了解，这两套机台可沉积薄膜封装障壁层，对保护敏感度极高的OLED装置至关重要，将为材料工程带来新突破。这些系统能让面板厂换掉原有装置上坚硬的绝缘玻璃，而使用可挠式与曲面显示器，为市场导入新世代消费产品。

    由于色彩鲜艳亮丽、低耗电，OLED显示器获得智能型手机的快速采用，而柔性OLED目前更是行动产业中成长最快速的区块。全新TFE系统(20K为925 X 1500厘米；40K为1250 X 2200厘米)针对不同显示器市场区块，满足对于功能更多样、更薄、更轻的小型与大型柔性OLED显示器与日俱增的各种需求。

    应材企业副总裁暨显示器产品事业群总经理谢思源博士表示，尺寸、解析度、画质与外观的精进为面板厂开创大量商机，为市场带进许多新型柔性产品。柔性OLED必须够耐用，才能符合消费者真实生活的需求，而已经开始进入生产的Applied AKT-20K TFE 系统，可以让面板厂加速柔性与曲面行动应用的导入，将会改变我们每天所使用萤幕的形状。

    Applied AKT TFE产品线的关键，是利用提供水与氧气渗透率极低的扩散障壁膜，延长柔性OLED的使用年限。这些于摄氏100度以下低温沉积的高性能膜，解决OLED材料接触环境元素容易劣化的问题。此外，这些系统独特的视觉对准技术，能确保正确且精密的遮罩位置与沉积，让面板厂免除光微影与蚀刻制程步骤，降低生产成本。

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